適用于300mm*300mm、300mm*400mm以及其它定制化基板尺寸的鈣鈦礦涂布
配備高精密注射泵，可根據(jù)需求提供不同容積針管，注液精度達0.1ul/s
客戶定制化需求，設(shè)備可根據(jù)客戶加裝頂升機構(gòu)和自動卸料單元
X軸配置，直線電機+光柵尺+精密滾珠直線導(dǎo)軌，X軸定位精度優(yōu)于5um
Z軸配置，精密滾珠絲桿+直線導(dǎo)軌+微米級精度位移傳感器，Z軸定位精度優(yōu)于5um
潔凈外罩，配備專業(yè)潔凈外罩，可以控制涂布區(qū)域潔凈度100級
提供其它定制化需求
涂布厚度：最薄50納米
