大陽機電|關(guān)于鈣鈦礦平板涂布機的技術(shù)規(guī)格
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研發(fā)型涂布機技術(shù)規(guī)格 |
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基板類別 |
經(jīng)UV-O或Plsma處理的 FTO /ITO 等導(dǎo)電玻璃/浮法素玻璃 |
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基板尺寸 |
300mm×300mm |
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溶液黏度 |
～10cps |
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涂層干膜厚度 |
300-1000nm |
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最大運動速度 |
100mm/s |
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注液精度 |
0.1uL/s |
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涂布臺平整度 |
3-5um |
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刀頭高度 |
0-50mm |
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唇口平行度 |
≤2.5μm/m |
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唇口直線度 |
≤2 μm/m |
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模頭內(nèi)壁粗糙度 |
0.02～0.03μm |
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模頭墊片 |
70/100um可定制其它厚度 |
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X軸運動方式 |
直線電機+精密滾珠直線導(dǎo)軌UP級，X軸定位精度優(yōu)于10um |
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Z軸運動方式 |
精密滾珠直線導(dǎo)軌UP級+um級精度位移傳感器 |
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預(yù)涂單元 |
設(shè)備帶有預(yù)涂區(qū)功能，可通過觸控面板控制預(yù)涂工藝參數(shù) |
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清洗單元 |
研發(fā)設(shè)備配備涂布頭的清洗和存放機構(gòu) |
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控制系統(tǒng) |
10寸高清觸摸屏操作，全中文界面操作，采用 PLC 可編程控制器 |
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風刀 |
進氣口壓縮空氣或氮氣MPa級進氣量。風速氣流均勻，且風刀垂直高度和水平距離可單獨調(diào)節(jié)和角度可調(diào)，可選配客戶指定風刀品牌 |
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潔凈外罩 |
配備專業(yè)潔凈外罩，可以控制涂布區(qū)域潔凈度100級 |
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定制化需求 |
設(shè)備可根據(jù)客戶加裝頂升機構(gòu)和自動卸料單元 |
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量產(chǎn)型涂布機技術(shù)規(guī)格 |
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基板類型 |
經(jīng)UV-O或Plsma處理 FTO/ITO等導(dǎo)電玻璃/浮法素玻璃 |
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基板尺寸 |
600mm×1200mm |
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基板厚度 |
2.5-3.5mm |
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溶液黏度 |
～10cps |
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涂層干膜厚度 |
300-1000nm |
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最大運動速度 |
1000mm/s |
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注液精度 |
5uL/s |
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涂布臺平整度 |
3-5um |
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刀頭高度 |
0-65mm |
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唇口平行度 |
≤2.5μm/m |
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唇口直線度 |
≤2 μm/m |
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模頭內(nèi)壁粗糙度 |
0.02～0.03μm |
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模頭墊片 |
70/100um可定制其它厚度 |
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X軸運動方式 |
直線電機+精密氣浮軸承，X軸定位精度優(yōu)于10um |
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Z軸運動方式 |
精密滾珠直線導(dǎo)軌UP級+um級激光位移傳感器 |
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預(yù)涂單元 |
設(shè)備帶有預(yù)涂輥，且可以在觸摸屏上設(shè)置預(yù)涂區(qū)參數(shù) |
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清洗單元 |
設(shè)備配備涂布頭全自動清洗功能，PLC控制清洗參數(shù) |
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系統(tǒng)主機 |
10寸高清觸摸屏操作，全中文界面操作，采用 PLC 可編程控制器 |
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風刀 |
進氣口壓縮空氣或氮氣MPa級進氣量。風速氣流均勻，且風刀垂直高度和水平距離可單獨調(diào)節(jié)和風刀角度可調(diào)，可選配客戶指定風刀品牌進行配置 |
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定制化需求 |
設(shè)備具備頂升機構(gòu)和自動上下料機構(gòu) |
